【雜志簡(jiǎn)介】

　　《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》主要刊登真空技術(shù)、表面與界面物理與化學(xué)、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學(xué)與工藝等。

　　主要欄目有：學(xué)術(shù)論文、綜述評(píng)論、技術(shù)交流、工業(yè)技術(shù)、科研動(dòng)態(tài)與學(xué)術(shù)活動(dòng)、快報(bào)等。

　　【收錄情況】

　　國(guó)家新聞出版總署收錄　國(guó)外數(shù)據(jù)庫(kù)收錄

　　美國(guó)化學(xué)文摘

　　【欄目設(shè)置】

　　主要欄目有：學(xué)術(shù)論文、綜述評(píng)論、技術(shù)交流、工業(yè)技術(shù)、科研動(dòng)態(tài)與學(xué)術(shù)活動(dòng)、快報(bào)等。

　　雜志優(yōu)秀目錄參考：

　　容性耦合等離子體腔室放電特性仿真研究 楊旺，劉學(xué)平，夏煥雄，向東，牟鵬，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探針法標(biāo)定的發(fā)射光譜法診斷等離子體電子密度及分布 陳宗勝，林志丹，時(shí)家明，馬麗芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反應(yīng)磁控濺射非線性控制方法 張軍，葉敏，張新榮，張道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　應(yīng)用于等離子體破裂防護(hù)的雙渦流驅(qū)動(dòng)快速充氣閥的研制 莊會(huì)東，張曉東，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)對(duì)電弧離子鍍弧斑放電的影響分析 郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，謝婷婷，王向紅，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳錳鐵預(yù)氧化—真空脫碳制備低碳錳鐵熱力學(xué)分析及實(shí)驗(yàn)研究 徐寶強(qiáng)，馬永博，楊斌，劉大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳熱反應(yīng)及可溶性TiO陽(yáng)極電解過程研究 趙坤，王耀武，陳昪，李應(yīng)龍，馮乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，F(xiàn)eng Naixiang

　　氣相合金化制備鎂鋅二元合金的研究 牛立斌，許臻，彭建洪，王曉剛，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，F(xiàn)an Zimin

　　氧化鋁真空碳熱還原氯化歧化過程中二氯化鋁行為研究 盧勇，周岳珍，陳秀敏，舒凱，高騰飛，郁青春，劉大春，楊斌，徐寶強(qiáng)

　　磁控濺射制備Er3+摻雜Al2O3薄膜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光特性 王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控濺射沉積Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究 郭楊陽(yáng)，田偉紅，黃曉波，張翔宇，李軒鵬，范愛蘭，唐賓，劉小萍

　　真空蒸鍍Ag2O/HDPE膜對(duì)奶酪的保鮮性研究 李亞娜，徐偉民，張國(guó)全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N離子注入對(duì)TiN薄膜的組織及性能的影響 馮軍，金凡亞，童洪輝，但敏，沈麗如，陳美艷，鄧雉，賴新春

　　冶金類評(píng)職稱投稿：利用尾礦廢石和鋼渣制備無熟料早強(qiáng)型 C30混凝土

　　摘 要：研究利用鋼渣、礦渣、脫硫石膏作膠凝材料，北京密云地區(qū)鐵尾礦廢石及廢砂作粗細(xì)骨料制備無熟料早強(qiáng)型C30混凝土。確定鋼渣、礦渣超細(xì)粉的最佳粉磨時(shí)間，試驗(yàn)得出膠凝材料的最佳配合比。使用SMФ500×500型小型球磨機(jī)對(duì)鋼渣、礦渣、脫硫石膏進(jìn)行機(jī)械粉磨，鋼渣比表面積達(dá)到 630 m2/kg，礦渣比表面積達(dá)到580 m2/kg，脫硫石膏粉磨25min。通過膠凝材料配合比的確定實(shí)驗(yàn)得出最優(yōu)配方為：膠凝材料中鋼渣粉占28%，礦渣粉占60%，脫硫石膏占12%的配方最優(yōu)。在標(biāo)準(zhǔn)養(yǎng)護(hù)條件下，所制備混凝土試塊早期強(qiáng)度較高，力學(xué)性能符合C30混凝土的要求。借助XRD和SEM分析了鋼渣-礦渣-脫硫石膏基膠凝材料的水化產(chǎn)物，探討該體系的水化反應(yīng)機(jī)理。該膠凝材料的水化產(chǎn)物主要是水化硅酸鈣(C-S-H)、鈣礬石(AFt)、二水石膏(CaSO4・2H2O)、萊粒硅鈣石[Ca5(SO4)2(OH)2]。體系的水化過程主要經(jīng)歷了鋼渣及礦渣的解體、水化產(chǎn)物的形成和生長(zhǎng)、水化產(chǎn)物與未水化產(chǎn)物的凝聚和硬化三個(gè)階段。

　　關(guān)鍵詞： 鋼渣,礦渣,脫硫石膏,C30混凝土

　　真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)最新期刊目錄

濺射鍍膜單體機(jī)真空室氣壓的滑模控制策略設(shè)計(jì)————作者：胡明;許澤宇;來華杭;趙德明;高興文;高云;吳梅;

摘要：針對(duì)濺射鍍膜單體機(jī)工藝過程中真空室氣壓控制的非線性、時(shí)滯及參數(shù)時(shí)變等問題，提出一種自適應(yīng)模糊滑模控制策略。通過建立真空系統(tǒng)的一階慣性加純滯后模型，采用遺忘因子遞推最小二乘法辨識(shí)參數(shù)，得到氣壓控制的傳遞函數(shù)。設(shè)計(jì)積分滑模面與模糊邏輯補(bǔ)償機(jī)制，構(gòu)建自適應(yīng)模糊滑模控制器，補(bǔ)償真空系統(tǒng)的非線性特性并抑制外部擾動(dòng)。經(jīng)仿真與試驗(yàn)驗(yàn)證可知，所設(shè)計(jì)的控制器在0.1 Pa ～ 10 Pa壓力范圍內(nèi)的響應(yīng)速度相較于常...

M型陰極熱失效機(jī)理及加速壽命實(shí)驗(yàn)?zāi)�擬————作者：樊鶴紅;白巖;李傳順;陳昭福;王鐵羊;宋芳芳;趙鵬;于志強(qiáng);孫小菡;

摘要：真空電子器件的陰極是決定整管性能的關(guān)鍵部件。M型陰極由于具有發(fā)射性能好、穩(wěn)定性高的特點(diǎn)，在真空電子器件中應(yīng)用廣泛，其可靠性及影響因素是生產(chǎn)和使用方共同關(guān)注的熱點(diǎn)問題。本文針對(duì)當(dāng)前陰極失效機(jī)理模型存在的不足，以及加速壽命模型與失效機(jī)理之間脫節(jié)的問題，建立了綜合考慮陰極表面膜層互擴(kuò)散和活性物質(zhì)蒸發(fā)兩種失效機(jī)理的M型陰極熱失效機(jī)理模型，并在此基礎(chǔ)上開展了M型陰極加速壽命實(shí)驗(yàn)仿真，分析了工作應(yīng)力對(duì)閾值參數(shù)...

微間距放電在不同氣壓與間距下路徑改變的研究————作者：魏先銳;孫巖洲;張昊;馬國(guó)凱;

摘要：為了研究微米間距放電起始路徑對(duì)傳統(tǒng)巴申（Paschen）曲線的影響，在電極間距為10μm-100μm、氣壓為1kPa-100kPa的范圍內(nèi)，對(duì)兩組不同電極進(jìn)行氣體放電實(shí)驗(yàn)，并利用COMSOL多物理場(chǎng)仿真軟件模擬了板-板電極在微間距中的電場(chǎng)強(qiáng)度和電子密度，同時(shí)對(duì)近似放電路徑進(jìn)行數(shù)值計(jì)算。研究發(fā)現(xiàn)在電極邊緣沒有絕緣層時(shí)，平臺(tái)期內(nèi)電極間的電離系數(shù)會(huì)隨著氣壓的降低而減小，使得間隙內(nèi)的碰撞電離次數(shù)減少，從而...

多探測(cè)器信號(hào)協(xié)同成像機(jī)制及其在掃描電鏡材料表征中的應(yīng)用————作者：薛敏;魏杰;陳煒曄;張磊;

摘要：本研究以金屬樣品和不導(dǎo)電納米材料為研究對(duì)象，采用Zeiss Sigma500型熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，系統(tǒng)研究了In-lens、ET-SE和HDBSD探測(cè)器信號(hào)協(xié)同成像機(jī)制及其對(duì)材料表征的影響。研究表明，通過協(xié)同信號(hào)成像策略，可有效整合不同探測(cè)器在電子信號(hào)收集特性和成像效果方面的特異性優(yōu)勢(shì)：In-lens探測(cè)器擅長(zhǎng)表面細(xì)節(jié)解析，ET-SE探測(cè)器對(duì)空間結(jié)構(gòu)敏感，而HDBSD探測(cè)器則具有對(duì)原子序數(shù)敏感的特性...

濺射離子泵空間磁場(chǎng)的分布優(yōu)化研究————作者：王巖;王鵬飛;任晨華;韓立;

摘要：永磁體是濺射離子泵重要的組成部件，通過數(shù)值模擬對(duì)現(xiàn)有濺射離子泵結(jié)構(gòu)中的空間磁場(chǎng)分布進(jìn)行分析，從而得到濺射離子泵外磁場(chǎng)和內(nèi)磁場(chǎng)分布特征。在此基礎(chǔ)上，提出了降低磁場(chǎng)外溢的雙層磁屏蔽結(jié)構(gòu)和提高內(nèi)部磁場(chǎng)均勻度的NN極同向陣列永磁體模型。雙層磁屏蔽可以提供更高效屏蔽作用，氣隙比控制在5%時(shí)，屏蔽效果可達(dá)到最大值的80%以上；內(nèi)磁場(chǎng)將單一永磁體改為NN極同向陣列模型，可以有效提高磁場(chǎng)均勻度。提出的結(jié)構(gòu)模型對(duì)濺...

高速空間定向分子流地面模擬與壓力校準(zhǔn)方法研究————作者：張湧頎;鄂鵬;陳千睿;宋春堯;王歡;

摘要：本文針對(duì)航天器在軌運(yùn)行時(shí)周圍中性氣體壓力測(cè)量與校準(zhǔn)的需求，開展了高速空間定向分子流的地面模擬與壓力校準(zhǔn)方法的研究。基于離子束表面中和的方法，采用單一種類氣體來模擬空間定向分子流的壓力效應(yīng)，通過建立束流的傳輸過程模型，并對(duì)離子束的加速引出、中和以及傳輸過程進(jìn)行定量化分析，建立了一套校準(zhǔn)轉(zhuǎn)換器型方向規(guī)的方法。該方法為高速定向分子流的地面模擬與壓力校準(zhǔn)提供了參考方法，可用于指導(dǎo)轉(zhuǎn)換器型方向規(guī)及其地面校準(zhǔn)...

170/218GHz雙頻回旋管準(zhǔn)光模式變換器設(shè)計(jì)————作者：田德成;張瑞;趙國(guó)慧;王勇;田露;

摘要：傳統(tǒng)回旋管準(zhǔn)光模式變換器受限于單頻工作特性，難以滿足多頻回旋管在聚變堆加熱與太赫茲通信等領(lǐng)域的發(fā)展需求。本文基于耦合模理論，提出一種支持170 GHz，TE_31，8模與218 GHz，TE_40，10雙頻工作的準(zhǔn)光輻射器設(shè)計(jì)方法，通過優(yōu)化模式耦合參數(shù)實(shí)現(xiàn)在同一輻射切口內(nèi)雙頻協(xié)同工作。此外，結(jié)合新型相位差算法構(gòu)建三級(jí)準(zhǔn)光鏡面系統(tǒng)，完成波束-電子束路徑分離及波...

HfNbTaTiZr難熔高熵合金表面滲碳和高溫軋制研究————作者：楊光;李金娜;龐云;馬賢;王丁丁;馬尚義;劉繼文;

摘要：本文主要使用了低壓真空表面滲碳技術(shù)、掃描電子顯微術(shù)、X射線衍射、X射線光電子能譜技術(shù)、納米壓痕技術(shù)和高溫軋制技術(shù)等手段研究了表面滲碳和高溫軋制過程對(duì)HfNbTaTiZr難熔高熵合金的影響。通過固溶體形成能力參數(shù)Ω和價(jià)電子濃度VEC的計(jì)算分析得出該高熵合金為體心立方結(jié)構(gòu)，符合鑄態(tài)或1000℃高溫軋制后合金試樣的檢測(cè)結(jié)果。在鑄態(tài)試樣中5種金屬元素的結(jié)合能特征峰位均向低能方向偏移，說明這些金屬原子周圍的...

大氣壓低頻容性耦合Ar/O₂放電特性研究————作者：呂明宇;劉相梅;王博;林婧;王鑫;

摘要：本文采用一維流體模型，對(duì)大氣壓低頻（100 kHz）Ar/O₂等離子體的放電特性進(jìn)行深入剖析，著重探討了氣壓、頻率對(duì)等離子體密度、電離率、電子溫度以及轟擊到上極板處離子能量等參數(shù)的影響。結(jié)果顯示，低頻放電中γ模式占主導(dǎo)，DA（Drift-Ambipolar ）模式相對(duì)較弱，但呈現(xiàn)出明顯的漂移電場(chǎng)和雙極擴(kuò)散場(chǎng)，電子主要集中在上極板處，轟擊到上極板處離子能量較高。隨著放電頻率的增...

鐿金屬真空蒸發(fā)過程中束形器參數(shù)對(duì)束流特性的影響————作者：郭凱;楊佳琦;張志忠;

摘要：原子蒸氣激光同位素分離過程中，蒸發(fā)原子束的密度、發(fā)散角等特性對(duì)分離、收集過程存在重要影響。本文基于直接模擬蒙特卡羅方法方法，對(duì)鐿金屬真空蒸發(fā)過程開展數(shù)值模擬研究，主要討論了蒸發(fā)溫度較低（700～820K）時(shí)真空環(huán)境下束流在蜂窩板和狹縫板傳輸過程中出口束流特性的影響因素。研究結(jié)果表明，蜂窩板孔道長(zhǎng)徑比、壁面作用系數(shù)、入口束流稀薄程度等參數(shù)與束流約束效果正相關(guān)，且孔道出口束流平均發(fā)散角最小為22.5°...

轉(zhuǎn)子吸力面弧度及轉(zhuǎn)速對(duì)旋轉(zhuǎn)式水力空化反應(yīng)器空化特性影響研究————作者：李曉佟;王磊;蒲發(fā)杰;管思桐;劉競(jìng)婷;宋永興;

摘要：水力空化被認(rèn)為是一種綠色、高效、環(huán)保的水消毒處理技術(shù)，且不產(chǎn)生任何有毒副產(chǎn)物。本文提出三種不同吸力面弧度葉形轉(zhuǎn)子，經(jīng)數(shù)值模擬，對(duì)比分析空化率、氣相、壓力、流速等參數(shù)，分別研究吸力面弧度和轉(zhuǎn)速對(duì)轉(zhuǎn)子-徑隙式水力空化反應(yīng)器的空化特性影響。結(jié)果表明，轉(zhuǎn)速為5040r/min時(shí)，吸力面弧度60°的轉(zhuǎn)子區(qū)域空泡體積和空化率最大，表現(xiàn)最優(yōu)空化性能，此工況轉(zhuǎn)子低壓區(qū)域最大，優(yōu)化壓力梯度分布實(shí)現(xiàn)空泡發(fā)展的動(dòng)態(tài)平衡...

空氣耦合的寬頻帶CMUT微元及陣列設(shè)計(jì)————作者：劉袁濤;許高斌;楊宇誠(chéng);孫百川;季旭;

摘要：針對(duì)中頻段（200 kHz～2 MHz）空氣耦合電容式MEMS超聲換能器帶寬窄、靈敏度低的問題，本文采用微元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和陣列布局優(yōu)化的方法實(shí)現(xiàn)了具備高靈敏度和寬頻帶的電容式MEMS超聲換能器微元及陣列。微元通過圓環(huán)形電極與鎳凸環(huán)的復(fù)合結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)振膜剛度，使振膜呈現(xiàn)活塞運(yùn)動(dòng)模式，從而提升靈敏度；陣列采用異構(gòu)-同構(gòu)協(xié)同的新型面陣布局，通過橫向異構(gòu)設(shè)計(jì)（不同微元頻帶交疊）拓寬帶寬，并利用縱向同構(gòu)設(shè)計(jì)（相同微...

結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)水環(huán)真空泵能量損失及其性能影響研究————作者：李清云;趙國(guó)勇;劉華一;楊盼盼;李燕杰;邊靖堯;

摘要：為分析結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)水環(huán)真空泵能量損失及水力性能的影響，本文采用數(shù)值模擬和熵產(chǎn)理論相結(jié)合的方法，研究了不同輪轂比和葉片包角分布下對(duì)水環(huán)真空泵能量特征和性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明：水力損失主要由湍流耗散熵產(chǎn)和壁面效應(yīng)熵產(chǎn)兩部分產(chǎn)生，而直接耗散熵產(chǎn)造成損失最小；葉輪區(qū)域的湍動(dòng)能和熵產(chǎn)損失較大，高熵產(chǎn)生率區(qū)域主要分布在吸氣區(qū)和排氣區(qū)。在輪轂比和葉片包角設(shè)定范圍內(nèi)，壁面熵產(chǎn)損失均隨兩者增大呈不斷增加趨勢(shì)。輪轂比...

高穩(wěn)定性、反鐵磁氮化錳薄膜的分子束外延制備————作者：冀壯;肖東東;谷明輝;孟夢(mèng);郭建東;

摘要：本文利用等離子體輔助的分子束外延（MBE），成功制備了高質(zhì)量反鐵磁（AFM）θ-相氮化錳（MnN）薄膜。結(jié)構(gòu)分析表明外延薄膜具有四方對(duì)稱性，其中c/a比值為0.98。外延的MnN薄膜在水中和大氣環(huán)境下表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性，這對(duì)實(shí)際應(yīng)用至關(guān)重要。電輸運(yùn)表明MnN為金屬性，在低溫下電阻上翹，這可能源于氮空位誘導(dǎo)的磁性雜質(zhì)及隨之產(chǎn)生的近藤效應(yīng)。此外，通過制備MnN/鈷鐵硼（CoFeB）異質(zhì)結(jié)構(gòu)，探究了Mn...

熱軋制工藝對(duì)Ti₆₁Al₁₆Cr₁₀Nb₈V₅多主元合顯微組織與力學(xué)性能的影響————作者：何楊宇;張朝暉;劉一帆;程一辰;賈曉彤;王強(qiáng);周金朝;程興旺;

摘要：本文對(duì)固溶后的Ti₆₁Al₁₆Cr₁₀Nb₈V₅多主元合金（簡(jiǎn)稱Ti61V5合金）進(jìn)行了高溫壓縮實(shí)驗(yàn)從而得到其熱加工圖，并由此進(jìn)一步確定了合金的熱軋制工藝范圍：溫度920-1030 ℃，應(yīng)變速率0.001 /s-0.01 /s，單次工程應(yīng)變量22%-36%。通過控制變量法對(duì)Ti61V5合金...

射頻電源電參數(shù)對(duì)四極質(zhì)譜計(jì)性能影響理論分析與仿真驗(yàn)證————作者：李星言;成永軍;馮天佑;孫雯君;陳聯(lián);王星輝;趙瀾;

摘要：四極質(zhì)譜計(jì)在各行業(yè)的需求量不斷加大，我國(guó)也逐步開始高精度四極質(zhì)譜計(jì)研究，因此對(duì)射頻電源性能提出更高要求。基于四極電場(chǎng)以及電參數(shù)影響因素理論，使用離子光學(xué)仿真軟件SIMION針對(duì)不同電參數(shù)對(duì)電場(chǎng)運(yùn)動(dòng)以及離子軌跡進(jìn)行了建模與仿真分析。仿真分析結(jié)果表明，在給定的仿真參數(shù)下，增大偏置電壓可以減小離子入射能量，從而對(duì)分辨率有一定改善，但由于大質(zhì)量數(shù)離子受邊緣場(chǎng)影響更大，因此大質(zhì)量數(shù)離子通過率下降明顯；增大電...

感應(yīng)耦合等離子體電磁特性的模擬————作者：官泳;張政權(quán);

摘要：本研究基于等離子體隱身技術(shù)背景，建立了感應(yīng)耦合等離子體（ICP）的電磁模型，用于分析不同放電條件下等離子體的電磁傳輸特性，為等離子體隱身技術(shù)提供理論支持。等離子體參數(shù)基于流體動(dòng)力學(xué)模擬結(jié)果設(shè)定，以提高模型精度。通過模擬研究了ICP的反射頻譜和吸收頻譜。結(jié)果表明，調(diào)節(jié)氣體壓力、工作氣體比例及功率等條件可有效控制衰減頻帶和幅度，實(shí)現(xiàn)雷達(dá)反射信號(hào)的抑制。其中，O-ICP對(duì)6 GHz以下低頻段吸收較強(qiáng)，而...

MAED-CNN:一種原子尺度圖像降噪的深度學(xué)習(xí)模型————作者：詹凌濤;范浩龍;張騰;王婷婷;曹雄柏;李燕;周貞如;張全震;楊惠霞;王業(yè)亮;

摘要：工作在超高真空環(huán)境下的掃描隧道顯微鏡（STM）具備原子級(jí)分辨率，廣泛應(yīng)用于材料表面結(jié)構(gòu)的精細(xì)成像。然而，STM圖像易受機(jī)械振動(dòng)、電子噪聲、環(huán)境擾動(dòng)等多種因素影響，導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降，嚴(yán)重制約其科學(xué)研究?jī)r(jià)值。為提升STM圖像的可用性和精度，本文提出一種基于多尺度特征提取與注意力機(jī)制的深度學(xué)習(xí)圖像修復(fù)模型——MAED-CNN。該模型采用U-Net編碼-解碼結(jié)構(gòu)，融合多尺度卷積模塊與通道注意力機(jī)制，并引入...

不銹鋼的電子轟擊放氣影響特性研究————作者：羅艷;王魁波;吳曉斌;

摘要：電子轟擊放氣對(duì)一些真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)起到?jīng)Q定性作用，但電子轟擊放氣的影響因素很多。采用典型的真空腔室材料316L不銹鋼，開展了電子轟擊參數(shù)對(duì)放氣的影響特性實(shí)驗(yàn)研究。結(jié)果表明，電子束首次轟擊新鮮表面時(shí)，電子轟擊放氣響應(yīng)是立即且劇烈的，后續(xù)轟擊雖仍為即時(shí)響應(yīng)，但強(qiáng)度顯著衰減；隨電子束累積劑量的增加，電子轟擊放氣量和電子產(chǎn)額逐漸下降，降至初始值的近一半；隨電子通量的增加，電子轟擊放氣量和電子產(chǎn)額略微增加；隨...

DBD等離子體處理火驅(qū)尾氣中稀薄甲烷的實(shí)驗(yàn)研究————作者：馬婷婷;成鵬;韓微笑;孫康寧;李森;

摘要：本文采用了介質(zhì)阻擋放電非平衡態(tài)等離子體技術(shù)對(duì)火驅(qū)尾氣中稀薄甲烷進(jìn)行低溫高效處理。實(shí)驗(yàn)考察了等離子體放電功率（21～46W），O₂/CH₄摩爾比（2～10）和氣體流量（400～1200mL/min）對(duì)CH₄轉(zhuǎn)化率、CO₂和CO選擇性的影響。結(jié)果表明，隨著放電功率和O₂/CH₄

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