《真空科學與技術學報》設有綜述評述、研究快報、研究論文、科普專欄、技術交流等欄目。綜述評論類文章總結及綜述本領域的代表性研究成果及最新進展，通常由編委邀請，未收到邀請但有意撰寫綜述類文章需提前與編委聯系，需具備較強前瞻性和指導性，篇幅8000-10000字（不含參考文獻）。研究快報類文章應具有更顯著的學術價值、時效性、并能引起廣泛關注，長度不超過5頁，優先發表。研究論文類文章是學報的主體，主要報道具有原創性的重要科研成果。科普專欄主要為真空相關技術的普及性介紹，促進科普傳播與交流。2022年新設技術交流版塊，主要面向真空行業工程師，交流真空設備設計、生產等環節中的經驗和技巧。

1. 論文應具有科學性、先進性和實用性，務必立論明確，論證嚴謹，數據可靠，文字精練。

2. 論文可以由中文或者英文撰寫，均需符合科研論文規范。文章寫作格式及規范要求，請參考“投稿中心”中的“論文模板”，包括中英文題目、摘要、作者單位、基金項目、縮略詞、符號、法定計量單位、插圖、表格及參考文獻等。

3. 投稿時需在系統中同時上傳投稿信，投稿信中應闡明論文的學術價值，包括科學創新，技術創新，或潛在應用等。同時推薦不少于兩名本領域非本單位具有高級職稱的專家作為審稿人，請在信中注明推薦審稿人單位（包含學院信息）、職務（職稱）、研究領域及電子郵件信息。

4. 自2022年起，本刊全部采用彩色印刷，作者應避免使用灰度圖，建議使用彩圖，以免影響印刷效果。

5. 論文中使用他人成果，務必標明并在參考文獻中列出細目。